Разработка методики и программы автоматизированного контроля микрогеометрии поверхностей деталей приборов с помощью графических критериев и их использование в технологических исследованиях : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Филимонова Елена Алексеевна; [Место защиты: С.-Петерб. нац. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики]